安捷伦干式 IDP 涡旋泵
50 Hz: 50 l/m, 3.0 m3/h
50 Hz: 214 l/m, 12.8 m3/h
安捷伦旋片泵DS 系列
50 Hz (m3/h): 25
50 Hz (m3/h): 40
HLD系列检漏仪
3-30m3/h (10 cfm)
5 × 10-12 mbar•L/s，5 × 10-12 atm•cc/s，5 × 10-13 Pa•m3/s
XGS-600 控制器
1 x 10-11 Torr 到大气压
8个同步通道进行压力测量
PCG-750 皮拉尼电容薄膜规管
5x 10 -5 mbar (3.8 x 10 -5 Torr)
镍灯丝
PVG-500S 皮拉尼规管
5 x 10-4 到 1000 mbar（3.75 x 10-4 到 750 Torr）
80 ms
涡轮分子泵Turbo-V 1001 Navigator
N2：790 L/s
He：820 L/s
H2：860 L/s
涡轮分子泵TwisTorr 804 FS
660 L/s
485 L/s
690 L/s
涡轮分子泵TwisTorr 404 FS
380 L/s
505 L/s
415 L/s
涡轮分子泵TwisTorr 74 FS
44 L/s
50 L/s
60 L/s
TwisTorr 305
255 L/s
< 1 × 10 -10 mbar
